Dostava plina poluvodiča: 316L EP VS . Elektropolizirana legura C -276

 

Zašto je 316L-EP dovoljan za inertne plinove?
Elektropolirani 316L postiže RA<0.15μm with particle shedding below 5 particles/ft³ >0 . 1 μm . potvrđeno za isporuku dušika/argona pri 99 . 9995% čistoće. Troškovi 40% manje od legura nikla s ekvivalentnim certifikatom završne obrade.

 

Kada c -276 postane obavezan?
Za hidridne plinove (Ash₃, B₂H₆) i fluorine spojeve . molibdenum (15-17%) sprječava pitting iz HF nusprodukata . Sadržaj površinskog željeza<0.01% prevents catalytic decomposition. Required for 3nm node fabrication.

 

Dopuštena razina metalne kontaminacije?
Natrij<0.01 ppb after 72-hour exposure. Iron <0.05 ppb at point of use. Total heavy metals (Ni+Cr+Mo) <0.1 ppb. Outgassing rate below 5×10⁻¹¹ torr·L/s·cm² after vacuum baking.

 

Kritične kontrole protokola zavarivanja?
Orbital GTAW with >99,999% čišćenje argona (O₂<20ppm). Heat input <15 kJ/inch prevents sensitization. Internal purge maintained until ambient temperature. Helium leak testing <1×10⁻⁹ mbar·L/s mandatory.

 

Slijed ispitivanja provjere valjanosti?
Para faza dekompozicija ICP-Ms za površinske metale . SIM Organsko mapiranje vremena za vrijeme leta . Brojanje čestica po IEST-STD-CC1246D klasa 5. analiza desomacije plina u 400 stupnjeva .